氣瓶泄漏防護(hù)裝置
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在制造微電子元件、光學(xué)元件、分析儀器和其他專用提備的作多工藝步驟中都會用到 反應(yīng)氣體．其中許多反應(yīng)性氣體對工人的危將極大，其生產(chǎn)、儲存、運輸和最終使用都必須遵守嚴(yán)格的安全程序· 這些氣體以壓縮氣體或加壓飽和液體的形式在常溫下用鋼瓶每個儲氣罐部有一個或多個出口，這些出口通常都有螺，紋，用于安裝流體配件，如截止閥、角閥等他連接件。泄漏可能發(fā)生在流體配件如O型密封圈，螺紋連接處，在許多情況下，這些泄漏都很小，（小于或等于50SCCM）但是即使小泄漏也會造成危險，并可能發(fā)展成較大的、潛在的災(zāi)難性泄漏。柔性樹脂式卡箍式密封是不是可以
